Vorwort

4Modell Mehrfachschichten und periodische Schichten

4.1Strahlengang und Klassifizierung von Mehrfachschichten und periodischen Schichten

4.1.1Strahlengang

4.1.2Klassifizierung von Mehrfachschichten und periodischen Schichten

4.1.2.1Mehrfachschichten nicht unterscheidbarer Einzelschichtmaterialien

4.1.2.2Mehrfachschichten unterscheidbarer Einzelschichtmaterialien

4.2Annahmen

4.3Besonderheiten des Modells Mehrfachschichten und periodische Schichten

4.4Validierung

4.5Messunsicherheit

4.5.1Messunsicherheit der ellipsometrischen Transfergrößen und

4.5.2Messunsicherheit u der Schichtdicke d

4.5.2.1Allgemeines

4.5.2.2Bestimmung der Messunsicherheit u für Mehrfachschichten nicht unterscheidbaren Einzelschichtmaterials

4.5.2.3Bestimmung von Messunsicherheit der Schichtdicke u von Mehrfachschichten unterscheidbaren Schichtmaterials

Anhang AErgänzungen zum Modell Mehrfachschichten und periodische Schichten (informativ)

A.1Messbeispiel einer periodischen TiO/SiO Mehrfachschicht auf BK-7 Glas mit zusätzlicher SiO-Schicht

A.2Hinweise für die Messpraxis