DIN EN ISO 14644-12:2013-04 - Entwurf

Dieses Dokument (prEN ISO 14644-12:2013) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 209 "Cleanrooms and associated controlled environments" in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 "Reinraumtechnologie" erarbeitet, dessen Sekretariat vom BSI gehalten wird. Die ISO 14644 besteht unter dem allgemeinen Titel "Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche" aus den folgenden Teilen: Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration; Teil 2: Festlegungen zur Prüfung und Überwachung zum Nachweis der fortlaufenden Übereinstimmung mit ISO 14644-1; Teil 3: Prüfverfahren; Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme; Teil 5: Betrieb; Teil 6: Terminologie; Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments); Teil 8: Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination; Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit; Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit; Teil 12: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Nanopartikelkonzentration. Dieser Teil der ISO 14644 enthält die Klassifizierung der Luftreinheit durch Partikel (ACP) als Konzentration luftgetragener Nanopartikel. Für Klassifizierungszwecke werden nur Partikelgruppen mit einer Mindestgröße von 0,1 Mikrometer (100 nm) oder kleiner, das heißt im "Nanobereich", in Betracht gezogen. Die in diesem Dokument angegebene Klassifizierung ist vorrangig für die Verwendung in Betriebszuständen vorgesehen. Diese Klassifizierung extrapoliert die in ISO 14644-1 festgelegte Gleichung der Partikelklassifizierung in den Nanobereich (< 100 nm).