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Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]
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Dieses Dokument beschreibt die Konstruktionsmerkmale und die messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopografie extrahiert werden können, können die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen anwendet werden. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 152-03-03 AA "Oberflächen" im DIN-Normenausschuss Technische Grundlagen (NATG).
Dokument wurde ersetzt durch DIN EN ISO 25178-603:2025-12 .
Gegenüber DIN EN ISO 25178-603:2014-02 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) technische Überarbeitung der ersten Ausgabe; b) Norm redaktionell überarbeitet.