Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 604: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (Weisslicht-Interferometrie) (ISO 25178-604:2025)
Englischer Titel
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 604: Design and characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments (ISO 25178-604:2025)