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Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]
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Dieses Dokument legt die wichtigsten Größen fest, die ein energiedispersives Röntgenspektrometer charakterisieren, das im Wesentlichen aus einem Halbleiterdetektor, einem Vorverstärker und einer Signalverarbeitungseinheit besteht. Dieses Dokument gilt ausschließlich für Spektrometer mit Halbleiterdetektor, die nach dem Prinzip der Festkörperionisierung funktionieren. Dieses Dokument legt die Mindestanforderungen fest und wie die relevanten Performanceparameter bei an einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA) angeschlossenen Spektrometer zu überprüfen sind. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA "Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Dokument wurde ersetzt durch DIN ISO 15632:2022-09 .
Gegenüber DIN ISO 15632:2015-11 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) der Titel wurde detailliert; b) die Definition der Totzeit ist detaillierter; c) Begriff 3.14 hinzugefügt; d) der allgemeinen Beschreibung (4.1) wurde eine Anmerkung (einschließlich einer neuen Verweisung [5]) hinzugefügt, die sich auf die aktive Nettosensoroberfläche bezieht.
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