Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Kontaktlose Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes mit dem Wirbelstrom-Verfahren; Homogen dotierte Halbleiterscheiben
Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology; contactless determination of the electrical resistivity of semiconductor slices with the eddy current method; homogeneously doped semiconductor wafers
Ausgabedatum
1992-04
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
4
Ausgabedatum
1992-04
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Deutsch
Seiten
4
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