DIN 50996:2020-05

Dieses Dokument legt ein Verfahren für die zerstörungsfreie Schichtdickenmessung von nicht-metallischen Beschichtungen mittels Zeitbereichsspektroskopie im Terahertz-Frequenzbereich fest. Der Spektralbereich erstreckt sich von etwa 0,1 THz bis 10 THz beziehungsweise im korrespondierenden Wellenlängenbereich von etwa 30 µm bis 3 mm. Anwendbar ist dieses Verfahren für alle Beschichtungen, materialabhängig typischerweise ab etwa 10 µm, die für elektromagnetische Wellen im Terahertz-Bereich transparent sind. Die Beschichtungen können dabei sowohl auf metallischen als auch nicht-metallischen Grundwerkstoffen abgeschieden sein. Dabei kann auch von einem Schichtstapel die Dicke aller Einzelschichten in einer Messung bestimmt werden. Dieses Verfahren ist auch geeignet, wenn die zu untersuchenden Schichten nicht auf einem Substrat aufgebracht, sondern freistehend sind. Metallische beziehungsweise generell leitfähige Schichten können von Terahertz-Strahlung nicht durchdrungen werden, sondern wirken als Reflektor, das heißt ihre Dicken können mit diesem Verfahren nicht bestimmt werden. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.