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DIN IEC/TS 62622:2014-09

DIN SPEC 42622:2014-09

Nanotechnologien - Beschreibung, Messung und dimensionale Qualitätsparameter von künstlichen Gittern (IEC/TS 62622:2012)

Englischer Titel
Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings (IEC/TS 62622:2012)
Ausgabedatum
2014-09
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
38
Verfahren
Vornorm

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Ausgabedatum
2014-09
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
38
Verfahren
Vornorm
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2203472

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Einführungsbeitrag

Die vorliegende technische Spezifikation legt eine generische Terminologie für die globalen und lokalen Qualitätsparameter von künstlichen Gittern, die als Abweichungen von den nominalen Positionen der Gitterstrukturen anzusehen sind, fest. Das Dokument bietet auch eine Anleitung dafür, wie die Mess- und Auswertemethoden zur Bestimmung dieser Parameter kategorisiert werden können. Diese Spezifikation soll die Kommunikation zwischen Herstellern, Anwendern und Kalibrierlaboratorien, die sich mit der Charakterisierung der dimensionalen Qualitätsparameter von künstlichen Gittern in der Nanotechnologie beschäftigen, erleichtern. Diese Spezifikation unterstützt die Qualitätssicherung bei der Produktion und dem Einsatz von künstlichen Gittern in verschiedenen Anwendungsbereichen der Nanotechnologie. Während die Definitionen und beschriebenen Methoden universell für eine große Bandbreite verschiedener Gitter anwendbar sind, liegt der Schwerpunkt auf den eindimensionalen und zweidimensionalen Gittern. Zuständig ist das DKE/K 141 "Nanotechnologie" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.

ICS
07.120, 31.020
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2203472

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