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Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Herleitung und Erstellung einer Sauberkeitsspezifikation für Bauteile entlang der Prozesskette fest. Dieses Dokument trifft keine Festlegungen für die Umsetzung einer Sauberkeitsspezifikation im Produktionsprozess. Dieses Dokument ist anwendbar für metallische Bauteile; das Verfahren ist jedoch ebenfalls anwendbar für Bauteile anderer Werkstoffe sowie Baugruppen. Dieses Dokument richtet sich insbesondere an Entwickler, Planer, Qualitätsverantwortliche und Produktionsverantwortliche in industriellen Produktionsprozessen. Dieses Dokument erläutert die Herleitung von Grenzwerten, legt jedoch keine Grenzwerte für einzelne Verunreinigungen oder Verunreinigungsklassen innerhalb oder am Ende der Prozesskette fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-81 AA "Technische Sauberkeit metallischer Komponenten" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.