Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50451-7:2017-09 - Entwurf
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 7: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salzsäure mittels ICP-MS
- Englischer Titel
- Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS
- Erscheinungsdatum
- 2017-08-18
- Ausgabedatum
- 2017-09
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 14
- Erscheinungsdatum
- 2017-08-18
- Ausgabedatum
- 2017-09
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 14
Produktinformationen auf dieser Seite:
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Einführungsbeitrag
Dieses Dokument (DIN 50451 7) wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss "Materialprüfung" (NMP) erarbeitet.
Dieses Dokument legt Verfahren zur Prüfung von Salzsäure auf 31 Elemente im Spurenbereich fest, wobei als Bestimmungsverfahren die Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS) eingesetzt wird.
Inhaltsverzeichnis
ICS
29.045
Ersatzvermerk
Dieses Dokument ersetzt DIN 50451-7:2017-02 .
Dokument wurde ersetzt durch DIN 50451-7:2018-04 .
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