DIN EN ISO 14644-3:2017-02 - Entwurf

Dieser Teil von ISO 14644 umfasst Prüfverfahren zur Unterstützung des Betriebs für Reinräume und reine Bereiche im Hinblick auf die Erfüllung von Luftreinheitsklassifizierungen und zugehörigen geregelten Bedingungen. Prüfungen zur Reinheitsklassifizierung sind beschrieben in ISO 14644-1 (Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration und für Nanopartikel). Weitere zugehörige Attributebenen können bestimmt werden anhand von ISO 14644-8 (Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration), ISO 14644-9 (Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit) und ISO 14644-10 (Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit). Es werden Leistungsprüfungen für zwei Arten von Reinräumen und reinen Bereichen festgelegt, solche mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung und solche mit turbulenter Mischströmung. Es werden drei Betriebszustände betrachtet: Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung. In den Prüfverfahren werden Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung von Kenngrößen für die Leistung empfohlen. An Stellen, an denen das Prüfverfahren durch die Art des Reinraums oder reinen Bereichs beeinflusst wird, werden alternative Verfahren vorgeschlagen. Für einige Prüfungen werden mehrere unterschiedliche Verfahren und Geräte empfohlen, so dass verschiedenen Nutzungsarten Rechnung getragen werden kann. Soweit zwischen Kunden und Lieferanten vereinbart, dürfen auch alternative, nicht in diesem Teil von ISO 14644 beschriebene Verfahren angewendet werden. Solche Verfahren liefern nicht zwingend gleichwertige Messungen. Dieser Teil von ISO 14644 ist nicht auf die Messung von Produkten oder Prozessen in Reinräumen, reinen Bereichen oder SD-Modulen anwendbar.