Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial (ISO 23131-2:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-2:2026

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DIN EN ISO 23131-2:2026-11 - Entwurf

Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial (ISO 23131-2:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-2:2026

Englischer Titel
Ellipsometry - Part 2: Bulk material model (ISO 23131-2:2026); German and English version prEN ISO 23131-2:2026
Erscheinungsdatum
2026-10-16
Ausgabedatum
2026-11
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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt das Verfahren zur Bestimmung der optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung auf Basis des Modells Volumenmaterial fest. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-02-101 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).

Inhaltsverzeichnis

ICS

17.020
Ersatzvermerk
Änderungsvermerk

Gegenüber DIN 50989-2:2021-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Übernahme als DIN EN ISO 23131-2; b) Norm redaktionell überarbeitet.

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