Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht (ISO 23131-3:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-3:2026

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DIN EN ISO 23131-3:2026-11 - Entwurf

Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht (ISO 23131-3:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-3:2026

Englischer Titel
Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model (ISO 23131-3:2026); German and English version prEN ISO 23131-3:2026
Erscheinungsdatum
2026-10-16
Ausgabedatum
2026-11
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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε1) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 angewendet wird, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-02-101 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).

Inhaltsverzeichnis

ICS

17.020
Ersatzvermerk
Änderungsvermerk

Gegenüber DIN 50989-3:2022-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Übernahme als DIN EN ISO 23131-3; b) Norm redaktionell überarbeitet.

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