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Dieses Dokument legt die Konstruktion und die Merkmale von Messgeräten mit Fokusvariation für die flächenhafte Messung der Oberflächentopographie fest. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopographie extrahiert werden können, können die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen angewendet werden. Dieses Dokument befasst sich mit der Fokusvariation ohne dynamische strukturierte Beleuchtung oder mit statischer strukturierter Beleuchtung. Die Verfahren, bei denen die strukturierte Beleuchtung während der Messung variiert, sind von diesem Dokument ausgenommen. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 152-03-03 AA "Oberflächen" im DIN-Normenausschuss Technische Grundlagen (NATG).
Gegenüber DIN EN ISO 25178-606:2016-12 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Anpassung an die neue Struktur der Normenreihe ISO 25178-60x; b) Ausweitung auf die Fokusvariation unter Verwendung einer statischen strukturierten Beleuchtung.