Atomlagenabscheidung - Chemische Eigenschaften von Vorläufersubstanzen für die Atomlagenabscheidung und damit zusammenhängende Verfahrensspezifikationen

Norm-Entwurf

ISO/DIS 19383:2025-05 - Entwurf

Atomlagenabscheidung - Chemische Eigenschaften von Vorläufersubstanzen für die Atomlagenabscheidung und damit zusammenhängende Verfahrensspezifikationen

Englischer Titel
Atomic layer deposition - Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Ausgabedatum
2025-05
Originalsprachen
Englisch
Seiten
13

ab 74,40 EUR inkl. MwSt.

ab 69,53 EUR exkl. MwSt.

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