Norm [AKTUELL]
DIN 50989-4:2022-09
Ellipsometrie - Teil 4: Modell Semi-transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
- Englischer Titel
- Ellipsometry - Part 4: Semi-transparent single layer model; Text in German and English
- Ausgabedatum
- 2022-09
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 63
- Ausgabedatum
- 2022-09
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 63
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3362106
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Einführungsbeitrag
Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA „Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme“ des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet. Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer semi-transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε<(index)1> und Imaginärteil ε<(index)2>) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Semi-transparente Einfachschicht fest.
Inhaltsverzeichnis
ICS
19.100
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3362106
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