Norm [AKTUELL]
DIN EN 62047-2:2007-02
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-2:2006); Deutsche Fassung EN 62047-2:2006
- Englischer Titel
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006
- Ausgabedatum
- 2007-02
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 14
- Ausgabedatum
- 2007-02
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 14
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/9782030
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