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Norm [AKTUELL]
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Diese Norm verbindet die Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration des Reinraums mit der Tauglichkeit von Geräten für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. In dieser Norm wird eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (zum Beispiel Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten, Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 festgelegt. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644 1 angegeben).