DIN EN ISO 23216:2023-01

Dieses Dokument legt das Verfahren der spektroskopischen Ellipsometrie zur Bestimmung von optischen Eigenschaften (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) und zur optischen Klassifizierung von verschiedenen Arten von amorphen Kohlenstoffschichten innerhalb der n-k-Ebene fest. Es ist anzuwenden auf amorphe Kohlenstoffschichten, welche durch ionizierendes Aufdampfen, Sputtern, Lichtbogenabscheidung, plasma-unterstütztes chemisches Aufdampfen, Heizdraht-Verfahren und andere aufgedampft werden. Es ist nicht anzuwenden auf Kohlenstoffschichten, welche durch Metalle oder Silikon verändert wurden, und auf amorphe Kohlenstoffschichten welche einen Gradienten der Zusammensetzung/Eigenschaften in der Dicke haben, Lacke und Anstrichstoffe. Dieses Dokument (EN ISO 23216:2022) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 107 „Metallic and other inorganic coatings“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 262 „Metallische und andere anorganische Überzüge, einschließlich des Korrosionsschutzes und der Korrosionsprüfung von Metallen und Legierungen“ erarbeitet, dessen Sekretariat von BSI (Vereinigtes Königreich) gehalten wird. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA „Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme“ im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).