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Dieser Teil von ISO 18115 definiert Begriffe zur chemischen Oberflächenanalyse. Er befasst sich mit allgemeinen Begriffen und solchen, die in der Spektroskopie verwendet werden. Das zuständige deutsche Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-16 AA "Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).