DIN ISO 22309:2015-11

Diese Norm liefert Hilfestellung zur quantitativen Analyse an bestimmten Punkten oder Bereichen einer Probe mit Hilfe der energiedispersen Spektrometrie (EDS) an einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronensondenmikroanlysengerät (EPMA); jede Angabe in Menge, das heißt in Prozent (Massenanteil), als groß/klein oder größere/kleinere Menge muss zwangsweise quantitativ sein. Die richtige Identifizierung aller in der Probe vorkommenden Elemente ist ein notwendiger Teil der quantitativen Analyse und wird daher in dieser Norm betrachtet. Diese Norm liefert eine Hilfestellung hinsichtlich der verschiedenen Ansätze und ist für quantitative Routineanalysen des Massenanteils auf bis zu 1% anwendbar und verwendet entweder Verfahren mit Referenzmaterial oder ohne. Es kann für Elemente mit Atomzahl Z größer als 10 verwendet werden. Das zuständige deutsche Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA "Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).