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IEC 62047-1:2016-01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe
- Englischer Titel
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
- Ausgabedatum
- 2016-01
- Originalsprachen
- Englisch, Französisch
- Seiten
- 66
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- 2016-01
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