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IEC 62047-6:2009-04

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen

Englischer Titel

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials

Ausgabedatum

2009-04

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Originalsprachen

Englisch, Französisch

Seiten

30