Norm [AKTUELL]

ISO 13083:2015-08

Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Standards zur Definition und Kalibrierung der räumlichen Auflösung von Rasterausbreitungswiderstandsmikroskopie und Rasterkapazitätsmikroskopie

Englischer Titel: Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Ausgabedatum: 2015-08
Originalsprachen: Englisch
Seiten: 14

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