Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration

Norm [NEU]

ISO 14644-13:2026-02

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration
Ausgabedatum
2026-02
Originalsprachen
Englisch
Seiten
32

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ICS

13.040.35
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Dieses Dokument ersetzt ISO 14644-13:2017-06 .

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