Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft

Norm [NEU]

ISO 14644-14:2026-02

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
Ausgabedatum
2026-02
Originalsprachen
Englisch
Seiten
20

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ICS

13.040.35
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Dieses Dokument ersetzt ISO 14644-14:2016-09 .

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