Chemische Analytik an Oberflächen - Chemische Methoden für die Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumscheiben-Arbeits-Referenzmaterialien und deren Bestimmung mit Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)

Norm [AKTUELL]

ISO 17331:2004-05

Chemische Analytik an Oberflächen - Chemische Methoden für die Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumscheiben-Arbeits-Referenzmaterialien und deren Bestimmung mit Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)

Englischer Titel
Surface chemical analysis - Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
Ausgabedatum
2004-05
Originalsprachen
Englisch
Seiten
18

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