Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung, der analysierten Fläche und der vom Analysator gesehenen Probenfläche
Englischer Titel
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyser
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