VDI 2083 Blatt 1.1:2021-01

Diese Richtlinie beschreibt die Messung und Klassifizierung der Luftreinheit in Bezug auf Nanopartikel mit Abmessungen von 5 nm bis < 100 nm ungeachtet von deren Herkunft. Nach dieser Richtlinie wird vorrangig nicht ein vollständiger Reinraum hinsichtlich der luftgetragenen Konzentration nanoskaliger Partikel klassifiziert, sondern lokale Konzentrationsverhältnisse an spezifisch festgelegten Punkten.

Luftqualität in Reinräumen messen und klassifizieren: Klassifizierungssystem, Technik und Vorgehen

Reinräume spielen eine wichtige Rolle in der Fertigung von Mikroelektronik und Feinmechanik, in Pharmazie und Medizin und weiteren Bereichen, in denen es auf möglichst sauberes Arbeiten ankommt. Je nach Aufgabengebiet sind die Ansprüche, die an Reinräume gestellt werden, unterschiedlich. Die Aspekte von Reinräumen und Reinheitsprüfung sind vielfältig, und reichen von Art und Ursprung der Kontamination über Messung und Analyse, Zielsetzungen und Anforderungen, Betriebszuständen und Maßnahmen bis hin zu Dokumentation und diesbezügliche Vertragsgestaltung. Der VDI gibt eine Reihe von Richtlinien heraus, in denen die jeweiligen Festlegungen definiert sind, die für die Reinheit des Arbeitsplatzes, der Raumluft, der Prozessmedien und des Personals gelten. Er bietet damit verlässliche Orientierung und den Rahmen für Vereinbarungen zwischen Vertragsparteien: Planern, Herstellern, Nutzern und Betreibern. Allen voran enthält die Richtlinienreihe VDI 2083 die Parameter zur Reinraumtechnik. Die hier vorliegende Richtlinie VDI 2083 Blatt 1.1 behandelt Partikelreinheitsklassen der Luft in Reinräumen.

Anwendungsbereich

Anwendungsbereich der VDI-Richtlinie 2083 Blatt 1.1 ist die Messung der Luftreinheit, sowie die Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration. Erfasst werden Partikel mit Abmessungen von 5nm bis <100nm. Der Ursprung der Partikel ist dabei nicht von Bedeutung.

Die Konzentration der genannten nanoskaligen Partikel wird gemäß VDI 2083 Blatt 1.1 nicht in kompletten Reinräumen ermittelt, sondern an sinnvollen definierten Punkten innerhalb der Reinräume. So können die Konzentrationsverhältnisse für verschiedene Umgebungen erfasst werden, beispielsweise an Werkbänken, Medien, Mini-Environments und Isolatoren.

VDI 2083 Blatt 1.1 gibt damit die Möglichkeit der Grenzwertüberwachung, sowie der reinheitstechnischen Bewertung von Isolatoren, Mini-Environments und Betriebsmitteln.

Die Richtlinie enthält Hinweise zu den Faktoren eines Klassifizierungssystems wie Partikelgrößenkanälen, Klassifizierungszahlen und Messzeiten.

Aus dem Inhalt

• Anwendungsbereich
• Normative Verweise
• Begriffe
• Klassifizierungssystem
• Anforderungen an die technische Ausstattung zur Messung
• Vorgehensweise zur Charakterisierung reiner Bereiche und Betriebsmittel
• Anhang: Anzahl der Zählereignisse und anzuwendende Messzeit
• Schrifttum

13.040.35