Norm-Entwurf
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Dieses Dokument legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (zum Beispiel Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644-1 angegeben). Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA "Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)" im DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS).
Gegenüber DIN EN ISO 14644-14:2017-01 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Verweisungen aktualisiert; b) Titel in den Literaturhinweisen korrigiert; c) Verweisungen, die im Text nicht erwähnt werden, aus den Literaturhinweisen entfernt.