Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes von Einkristallen aus Silicium oder Germanium mit dem Vier-Sonden-Gleichstrom-Verfahren bei linearer Anordnung der Sonden

Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50431:1988-05

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes von Einkristallen aus Silicium oder Germanium mit dem Vier-Sonden-Gleichstrom-Verfahren bei linearer Anordnung der Sonden

Englischer Titel
Testing of semiconductor materials; measurement of the resistivity of silicon or germanium single crystals by means of the four probe/direct current method with collinear array
Ausgabedatum
1988-05
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
5

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