Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration (ISO 14644-13:2026); Deutsche Fassung EN ISO 14644-13:2026

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DIN EN ISO 14644-13:2026-08

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration (ISO 14644-13:2026); Deutsche Fassung EN ISO 14644-13:2026

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO 14644-13:2026); German version EN ISO 14644-13:2026
Ausgabedatum
2026-08
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