Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration (ISO 14644-13:2026); Deutsche Fassung EN ISO 14644-13:2026

Norm [VORBESTELLBAR]

DIN EN ISO 14644-13:2026-08

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration (ISO 14644-13:2026); Deutsche Fassung EN ISO 14644-13:2026

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO 14644-13:2026); German version EN ISO 14644-13:2026
Ausgabedatum
2026-08
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
45

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Inhaltsverzeichnis

ICS

13.040.35
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt DIN EN ISO 14644-13:2017-11 .

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN ISO 14644-13:2017-11 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Begriff "Klasse" ("Klassifizierung", "klassifiziert") wurde gegebenenfalls in "Stufe" oder "Bewertung" geändert; b) die Verweisungen wurden aktualisiert; c) geringfügige redaktionelle Änderungen; d) Literaturhinweise, die im Text nicht erwähnt werden, wurden entfernt.

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