Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der radialen Variation des spezifischen elektrischen Widerstandes an Silicium- oder Germanium-Scheiben mit dem Vier-Sonden-Gleichstromverfahren

Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50435:1988-05

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der radialen Variation des spezifischen elektrischen Widerstandes an Silicium- oder Germanium-Scheiben mit dem Vier-Sonden-Gleichstromverfahren

Englischer Titel
Testing of semiconductor materials; determination of the radial resistivity variation of silicon or germanium slices by means of the four-probe/direct current method
Ausgabedatum
1988-05
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
3

ab 36,70 EUR inkl. MwSt.

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